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　　11月14日，上交所将审议深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（下称“恒运昌”）的科创板首发事项。公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统(等离子体射频电源及匹配器)、等离子体激发装置(远程等离子体源、射频离子源)、等离子体直流电源、配件(滤波器、阻抗调整器等)；引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件；同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。